1500/2000/3000iCL COOLVAC iCL系列全自動(dòng)再生低溫泵

昆山熙日機(jī)械設(shè)備有限公司是低溫泵產(chǎn)品與維修服務(wù)提供商，德國(guó)、法國(guó)真空技術(shù)品牌的服務(wù)專(zhuān)家組建的技術(shù)服務(wù)商，致力于真空領(lǐng)域的解決方案，我們專(zhuān)業(yè)服務(wù)的品牌有：Seiko Seiki日本精工精機(jī)、EBARA日本荏原、Leybold德國(guó)歐瑞康萊寶、Pfeiffer德國(guó)普發(fā)、ALCATEL法國(guó)阿爾卡特、Edwards英國(guó)愛(ài)德華、Kashiyama日本樫山、 MITSUBISHI日本三菱、Suzuki日本鈴木冷泵、ULVAC日本愛(ài)發(fā)科、CTI Cryopump低溫泵（冷泵）等等… 為客戶(hù)提供市場(chǎng)前沿高質(zhì)量的技術(shù)解決方案，幫助客戶(hù)提高生產(chǎn)效率和降低生產(chǎn)成本！源自原廠、高于原廠、技術(shù)、同步！

萊寶COOLVAC低溫泵的工作范圍10-3到≤10-11mbar（0.75 x 10-3到≤0.75 x 10-11托）屬于氣體捕集泵。工作原理是將氣態(tài)物質(zhì)通過(guò)低溫冷凝和低溫捕集到泵內(nèi)冷表面。為了能夠獲得高真空或超高真空，冷表面（低溫板）必須冷卻到足夠低的溫度。根據(jù)所用冷卻系統(tǒng)的類(lèi)型可以分為制冷機(jī)低溫泵、 貯槽式低溫泵和蒸發(fā)器低溫泵。

萊寶COOLVAC低溫泵的工作范圍10-3到≤10-11mbar（0.75 x 10-3到≤0.75 x 10-11托）屬于

氣體捕集泵。工作原理是將氣態(tài)物質(zhì)通過(guò)低溫冷凝和低溫捕集到泵內(nèi)冷表面。為了能夠獲得高真空或超高真空，冷表面（低溫板）必須冷卻到足夠低的溫度。根據(jù)所用冷卻系統(tǒng)的類(lèi)型可以分為制冷機(jī)低溫泵、 貯槽式低溫泵和蒸發(fā)器低溫泵。

萊寶公司生產(chǎn)用制冷機(jī)冷卻低溫泵。

 萊寶1500/2000/3000/10000/60000/iCL COOLVAC iCL系列全自動(dòng)再生低溫真空泵

客戶(hù)得益

低溫泵的優(yōu)勢(shì)：

- 所有氣體都有高抽速

- 對(duì)水汽有*的抽速

對(duì)于相同直徑的高真空法蘭，低溫泵可以達(dá)到所有高真空泵MAX的抽速。

低溫泵的優(yōu)勢(shì)2：

與氣體傳輸泵（例如渦輪分子泵）相比，低溫泵在真空側(cè)沒(méi)有任何機(jī)械活動(dòng)

部件、潤(rùn)滑油或脂潤(rùn)滑部件。所以：- 10-3 至 ≤ 10-11 mbar (0.75 x 10-3 至

≤ 0.75 x 10-11 Torr).壓強(qiáng)范圍的無(wú)烴真空

- 對(duì)外部振動(dòng)不敏感

其它優(yōu)點(diǎn)：

- 與其他高真空泵相比更加緊湊（抽速大于1500 l x s-1）

- 僅啟動(dòng)和再生期間需要前級(jí)泵

- 利用計(jì)算機(jī)更容易對(duì)工藝和泵進(jìn)行控制

- 性?xún)r(jià)比更高，使用成本更低，尤其是需要大抽速的應(yīng)用

萊寶真空生產(chǎn)的低溫泵采用本廠生產(chǎn)的COOLPOWER雙級(jí)冷頭冷卻（Gifford/McMahon原理）。

有關(guān)COOLVAC系列低溫泵的設(shè)計(jì)，請(qǐng)見(jiàn)以下示意圖的內(nèi)容。

一級(jí)冷頭（9）冷卻熱輻射防護(hù)屏和低溫泵的障板（6）。

根據(jù)泵的型號(hào)和工作條件不同，達(dá)到45到80K的工作溫度，水蒸汽在這里冷凝。

熱輻射防護(hù)屏和障板為銅質(zhì)，它們能很好地傳遞熱量，從而優(yōu)化制冷容量。

另外，熱輻射防護(hù)屏經(jīng)過(guò)拋光，將反射損失降到盡可能小。二級(jí)冷頭（7）用于冷卻冷傘（8）。

根據(jù)工作條件，達(dá)到 10到 20 K的工作溫度。氮?dú)?、氧氣和氬氣在這里低溫冷凝。冷傘采用高導(dǎo)熱銅材與二級(jí)冷頭緊密相連。氫氣、氖氣和氦氣被吸附到冷傘上面部分覆蓋活性炭上。

COOLVAC制冷機(jī)低溫泵

COOVAC系列的所有低溫泵都配有安全閥（UHV型帶有爆破膜），安全閥由工廠設(shè)置，過(guò)壓150mbar（113托）時(shí)打開(kāi)。萊寶低溫真空泵 COOLVAC 60000 iCL維修保養(yǎng)?

為了保證在安全閥動(dòng)作時(shí)，安全地排出可能影響健康的氣體，安全閥另配有一個(gè) DN 40 KF 法蘭，上面可以連接一條排氣管線(xiàn)。

低溫泵的再生

低溫泵工作的一個(gè)重要方面是再生。由于低溫泵屬于氣體捕集泵，所以被抽氣體都蓄積在泵內(nèi)，飽和后必須泵排出。

具體操作方法是關(guān)閉壓縮機(jī)并加熱低溫區(qū)到室溫或略高的溫度，由前級(jí)真空泵將釋放的氣體排出。

非電控再生系統(tǒng)的低溫泵這種低溫泵通過(guò)向泵內(nèi)吹掃干燥、預(yù)熱的惰性氣體（例如氮?dú)猓┘訜岬蜏貐^(qū)到室溫。此情況下，由于低溫泵內(nèi)不可能有確定的和受控制的溫度，所以無(wú)法排除氫氣和氧氣同時(shí)存在的情況。只有通過(guò)干燥惰性氣體的稀釋作用來(lái)防止可燃混合氣的形成。萊寶低溫真空泵 COOLVAC 60000 iCL維修保養(yǎng)

多臺(tái)低溫泵組合操作

由于萊寶真空的壓縮機(jī)COOLPAK 6000HD功能強(qiáng)大，可以同時(shí)驅(qū)動(dòng)兩個(gè)以上冷頭或低溫泵。

客戶(hù)得益

- 極大的降低投資和操作成本

- 占地面積小

蘇州昆山太倉(cāng)無(wú)錫上海張家港吳江萊寶1500/2000/3000/10000/60000/iCL COOLVAC iCL系列全自動(dòng)再生低溫真空泵

常熟鎮(zhèn)江常州揚(yáng)州泰州南通南京啟東萊寶1500/2000/3000/10000/60000/iCL COOLVAC iCL系列全自動(dòng)再生低溫真空泵

海門(mén)如皋海門(mén)海安如東宿遷徐州合肥萊寶1500/2000/3000/10000/60000/iCL COOLVAC iCL系列全自動(dòng)再生低溫真空泵

蕪湖杭州湖州溫州臺(tái)州衢州紹興金華萊寶1500/2000/3000/10000/60000/iCL COOLVAC iCL系列全自動(dòng)再生低溫真空泵

寧波余姚福州廈門(mén)泉州深圳廣州珠海廣州萊寶1500/2000/3000/10000/60000/iCL COOLVAC iCL系列全自動(dòng)再生低溫真空泵

惠州通州桂林南寧南昌贛州武漢成都重慶萊寶1500/2000/3000/10000/60000/iCL COOLVAC iCL系列全自動(dòng)再生低溫真空泵

荊州太原蘭州烏魯木齊石家莊天津長(zhǎng)春萊寶1500/2000/3000/10000/60000/iCL COOLVAC iCL系列全自動(dòng)再生低溫真空泵

吉林濟(jì)南青島威海德州連云港昆明九江安慶萊寶1500/2000/3000/10000/60000/iCL COOLVAC iCL系列全自動(dòng)再生低溫真空泵

萊寶真空全自動(dòng)加熱再生低溫泵

低溫泵通過(guò)電加熱器將一級(jí)和二級(jí)冷頭加溫到室溫。此類(lèi)情況下，低溫泵內(nèi)可以達(dá)到確定和受控制的溫度分布。這個(gè)受控制的加溫過(guò)程保證了氣體被連續(xù)排出，也就是按以下順序氣體一個(gè)接一個(gè)

被釋放：

-　吸附在冷傘上的氣體（例如氫氣、　 氦氣、氖氣）

-　冷凝在冷傘上的氣體（例如氮?dú)?、?氧氣、氬氣）

-　冷凝在障板和熱輻射防護(hù)屏上的氣　 體和蒸汽（例如水蒸汽）

萊寶真空采用的這種電加熱再生方法能夠防止氫氣和氧氣之類(lèi)的氣體在泵內(nèi)同時(shí)存在，從根本上排除了可燃混合氣形成的可能。

加溫過(guò)程為全自動(dòng)，泵內(nèi)的壓強(qiáng)和溫度分布，始終由控制系統(tǒng)確定和控制，從而保證萊寶真空低溫泵再生期間較大限度的安全。

萊寶真空的低溫泵分自然再生（BL）和全自動(dòng)加熱再生（iCL）兩個(gè)系列：

1. COOLVAC ClassicLine（COOLVACiCL），單品以對(duì)氮?dú)獬樗倜▎挝籰/s），如COOLVAC 1500 iCL對(duì)氮?dú)獾某樗贋?500l/s?？商峁?500到60000l/s的全系列產(chǎn)

品。

在報(bào)價(jià)清單上，泵名稱(chēng)帶有符號(hào)“V”的：“V”表示高真空接口位于上端，冷頭在下面，例如COOLVAC 1500 iCL-V、DN 200 CF。

2. COOLVAC BaseLine的命名規(guī)則相同，可提供從1500到60000l/s的全系列產(chǎn)品。

3.　特殊低溫泵

萊寶真空可以根據(jù)客戶(hù)要求提供特制低溫泵，如為航天環(huán)境模擬應(yīng)用提供大口徑液氮輔助制冷低溫泵CV30000BLN2和CV60000BLN2，詳細(xì)信息請(qǐng)和垂詢(xún)熙日真空。

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低溫泵的優(yōu)勢(shì)：

- 所有氣體都有高抽速

- 對(duì)水汽有*的抽速

對(duì)于相同直徑的高真空法蘭，低溫泵可以達(dá)到所有高真空泵MAX的抽速。

低溫泵的優(yōu)勢(shì)2：

與氣體傳輸泵（例如渦輪分子泵）相比，低溫泵在真空側(cè)沒(méi)有任何機(jī)械活動(dòng)

部件、潤(rùn)滑油或脂潤(rùn)滑部件。所以：- 10-3 至 ≤ 10-11 mbar (0.75 x 10-3 至

≤ 0.75 x 10-11 Torr).壓強(qiáng)范圍的無(wú)烴真空

- 對(duì)外部振動(dòng)不敏感

其它優(yōu)點(diǎn)：

- 與其他高真空泵相比更加緊湊（抽速大于1500 l x s-1）

- 僅啟動(dòng)和再生期間需要前級(jí)泵

- 利用計(jì)算機(jī)更容易對(duì)工藝和泵進(jìn)行控制

- 性?xún)r(jià)比更高，使用成本更低，尤其是需要大抽速的應(yīng)用

客戶(hù)得益

- 無(wú)烴高真空

- 抽氬氣和氮?dú)饽芰?qiáng)

- 切入閾值高

- 操作簡(jiǎn)單

- 易于整合到復(fù)雜系統(tǒng)

- 全自動(dòng)再生

- 維修簡(jiǎn)單

典型應(yīng)用

- 蒸發(fā)器

- 濺射系統(tǒng)

- 離子注入機(jī)

- 光學(xué)鍍膜機(jī)

昆山熙日機(jī)械設(shè)備有限公司是低溫泵產(chǎn)品與維修服務(wù)提供商，德國(guó)、法國(guó)真空技術(shù)品牌的服務(wù)專(zhuān)家組建的技術(shù)服務(wù)商，致力于真空領(lǐng)域的解決方案，我們專(zhuān)業(yè)服務(wù)的品牌有：Seiko Seiki日本精工精機(jī)、EBARA日本荏原、Leybold德國(guó)歐瑞康萊寶、Pfeiffer德國(guó)普發(fā)、ALCATEL法國(guó)阿爾卡特、Edwards英國(guó)愛(ài)德華、Kashiyama日本樫山、 MITSUBISHI日本三菱、Suzuki日本鈴木冷泵、ULVAC日本愛(ài)發(fā)科、CTI Cryopump低溫泵（冷泵）等等… 為客戶(hù)提供市場(chǎng)前沿高質(zhì)量的技術(shù)解決方案，幫助客戶(hù)提高生產(chǎn)效率和降低生產(chǎn)成本！源自原廠、高于原廠、技術(shù)、同步！

CTI-Cryogenics On-Board® IS 低溫泵

維修-翻新服務(wù)

Brooks CTI-Cryogenics 智能 On-Board IS 低溫泵系統(tǒng)采用創(chuàng)新型高效低溫技術(shù)，可以提供的真空性能和能源效率。獲得的分布式控制系統(tǒng)監(jiān)控器及連續(xù)可調(diào)的低溫泵系統(tǒng)獨(dú)立部件幫助維持系統(tǒng)從而實(shí)現(xiàn)在較寬真空范圍內(nèi)都有*的工藝連續(xù)性。

Brooks 的優(yōu)勢(shì)

• 各種 CTI-Cryogenics 低溫泵和壓縮機(jī)的“一站式”體驗(yàn)
• 原始設(shè)備制造商：產(chǎn)品技術(shù)專(zhuān)家和設(shè)計(jì)工程師
• 可在所有主要的半導(dǎo)體晶圓廠所在的區(qū)域提供維修服務(wù)
• 所有維修類(lèi)型均提供一年全面質(zhì)保
• 維修類(lèi)別：
  • 翻新
  • 高級(jí)交換
  • 1 天快速響應(yīng)交換
• 固定備件交換適用于所有區(qū)域
• 維修新增了產(chǎn)品升級(jí)和 CIP服務(wù)
• ISO 認(rèn)證的維修僅使用 Brooks 部件
• 統(tǒng)一維修作業(yè)流程以保持質(zhì)量和性能的*性
• 所有產(chǎn)品的準(zhǔn)備時(shí)間都是固定的，與服務(wù)類(lèi)別無(wú)關(guān)
• 特定的維修協(xié)議可用于所有機(jī)械手臂

On-Board 低溫泵維修-翻新選項(xiàng)

* 如需了解可用性， 請(qǐng)與我們聯(lián)系。

Brooks 認(rèn)證的維修是客戶(hù)的正確選擇，可提供高質(zhì)量的專(zhuān)業(yè)服務(wù)。這些維修旨在優(yōu)化老化產(chǎn)品的性能，并為所有低溫需求獲取好壽命。

On-Board 低溫泵維修特性

• 可提供性能升級(jí)選項(xiàng)
• 高級(jí)評(píng)估診斷工具
• 自動(dòng)化測(cè)試套件
• 堅(jiān)持*復(fù)制
• 深層故障分析選項(xiàng)

前瞻性協(xié)議

對(duì)于大量裝機(jī)的客戶(hù)，服務(wù)協(xié)議可以與增強(qiáng)的預(yù)防性維護(hù)或包括交換的翻新服務(wù)一起提供。這些協(xié)議提供隨時(shí)可用的備件以支持運(yùn)行時(shí)間要求。該計(jì)劃可幫助客戶(hù)主動(dòng)管理設(shè)備維護(hù)，以便減少意外停機(jī)時(shí)間，同時(shí)固定的價(jià)格有利于您申請(qǐng)預(yù)算或預(yù)估維護(hù)費(fèi)用。低溫捕集泵維修，深冷泵維修，POLYCOLD維修專(zhuān)家就屬熙日真空更專(zhuān)業(yè)，我們是專(zhuān)業(yè)維修POLYCOLD等深冷泵的公司，擁有眾多專(zhuān)業(yè)且經(jīng)過(guò)培訓(xùn)的工程師，訓(xùn)練有素，服務(wù)，上門(mén)解決您的設(shè)備各種疑難雜癥問(wèn)題，如果您遇到有POLYCOLD解決不了的問(wèn)題聯(lián)系熙日真空

　　我司常備有Polycold維修配件：Polycold的原裝配方冷媒、冷凍油、低溫電磁閥、低溫接頭墊圈和保溫材料，維修后享有免費(fèi)保修，免費(fèi)技術(shù)支持。